微立体光刻是在传统3D打印工艺—立体光固化成型SL技术基础上发展起来的一种新型微细加工技术，与传统的SL工艺相比，它采用更小的激光光斑(几个微米)，材料在非常小的面积上发生光固化反应。

3D打印微纳加工

MEMS工艺可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感阵列、微执行器阵列甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统，从而可以制造出可靠性、稳定性很高的微电子机械系统。

MEMS器件工艺

通过自动测量得到薄膜等材料相变过程中的热滞回线、相变温度、热滞宽度、相变幅度等特性参数，并可以根据温变曲线直观定性观察比较材料的相变潜热和热力学分析。

薄膜相变分析

接触角是指固体表面上的固－液－气三相交界点处，其气－液界面和固－液界面两切线把液相夹在其中时所成的角，它是固体与液体润湿程度的量度，也是定性表征固体表面属性的重要参量。

接触角测量分析